液體流量傳感器 - SLQ-QT105

產(chǎn)品介紹

一、液體流量傳感器SLQ-QT105產(chǎn)品描述

針對鍍膜系統(tǒng)的高端需求,我們推出一款新產(chǎn)品SLQ-QT105液體流量傳感器，這是一款半導體級別的傳感器解決方案，用于測量流速低于120ML/MIN 的碳烴化合物，例如光阻和溶劑。 由于采用充分驗證的熱式微傳感器科技，其開辟了在靈敏度，穩(wěn)定性及速度方面的新高度。液體流量傳感器SLQ-QT105的極短的響應(yīng)時間可以準確的監(jiān)控高速動態(tài)變化過程，例如快速給料動作。液體流量傳感器SLQ-QT105配有4X3MM的PFA管道，該設(shè)備無任何活動部件，可在直管流道的管壁里進行無侵害的測量。傳感器配備智能數(shù)字接口，可靠的RS485的通訊協(xié)議適合于長距離通訊，具有較大的總線容量。

二、液體流量傳感器SLQ-QT105特性

• 測量范圍高達120ML/MIN（碳烴類液體）

• 在小流量范圍內(nèi)依然保持zui高的分辨率

• 快速響應(yīng)時間低至30MS

• RS485數(shù)字接口

• 用于測量光阻及溶劑

• 直管管道，無活動部件

• 可保證的潔凈度

• 卓越的耐化學性，惰性材料

• 觸液材質(zhì)：PCTFE, 僅石英玻璃

• zui大工作壓力3bar (特定需求下可提高壓力)

三、液體流量傳感器SLQ-QT105應(yīng)用領(lǐng)域

• 高端半導體過程控制

• 快速給料操作